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北京经济技术开发区
发布日期:2021-06-10 21:14   来源:未知   阅读:

  近日,记者从区内企业东方晶源微电子科技 (北京) 有限公司(以下简称东方晶源)获悉,在硬科技领域的王牌赛事中,其有关电子束方面的项目在近千个参赛项目中脱颖而出,摘得2020年前沿科技创新大赛“总决赛季军”及“集成电路领域TOP10”两项大奖 。

  此次东方晶源获奖项目为“基于多电子束的10纳米以下集成电路制程缺陷检测设备研发与产业化”,该获奖项目锁定了东方晶源未来产品研发的关键方向。东方晶源在集成电路良率管理领域的突破,是国内集成电路产业链供应链自主可控的关键一步。

  “电子束缺陷检测设备,是国产微电子领域短板中的短板。”东方晶源有关负责人表示,芯片制造进入20纳米及以下节点后,关键制程的尺寸测量和缺陷检测的精确性和有效性将对产品良率产生决定性作用。纳米级电子束检测设备主要利用扫描电镜的原理实现纳米级成像并基于成像进行测量和分析。该设备主要应用在芯片制造关键制程,属于芯片制造过程中良率检测和控制的必需环节,此类设备和技术是我国集成电路行业 “卡脖子”技术之一,而电子束图形缺陷检测设备的诞生则填补了此项技术的国内空白。据了解,东方晶源电子束晶圆缺陷检测设备应用电子束扫描技术对硅片表面进行高分辨率成像,通过智能算法检测制造过程中的物理和电性缺陷,为集成电路的开发与量产提供了高精度的检测和良率解决方案。

  北京经开区是高新技术产业前沿阵地,高度重视发展集成电路产业,已逐步成为全国集成电路产业聚集度最高、技术水平最先进的区域。在经开区的谋划布局及大力引聚下,华卓精科、燕东8英寸、耐威科技8英寸MEMS芯片、中电科、东方晶源、科益宏源等企业纷纷落户,目前已经形成了以中芯国际、北方华创为龙头,包括制造、封装测试、装备、零部件及材料、设计等愈加完备的集成电路产业链。

  作为三项国家科技02重大专项(极大规模集成电路制造技术及成套工艺项目)及工信部工业强基专项的承接单位,东方晶源的技术创新水平近年突飞猛进,不断突破多项卡脖子技术,研发出多项国内领先技术。其中,在硬件产品方面,东方晶源电子束晶圆缺陷检测设备EBI已实现在客户端主流制程的验证并取得重大突破;关键尺寸量测装备CD-SEM也已完成设计和开发,性能接近国际主流产品水平;在软件产品方面,东方晶源计算光刻产品OPC目前已经通过25纳米存储器芯片工厂量产验证,逻辑芯片产线验证也正在紧锣密鼓进行中。香港最快现场开奖直播